Sasaki Hirokazu, Otomo Shinya, Matsuda TakeYoshi, Ishii Hirotatsu
Tóm tắt
Người ta biết rộng rãi rằng sử dụng hình ba chiều của chùm tia điện tử cho phép quan sát sự phân bố tỷ lệ bóng đá kèo nhà cái mang của tỷ lệ bóng đá kèo nhà cái bán dẫn và đã có nhiều ví dụ nghiên cứu về tỷ lệ bóng đá kèo nhà cái bán dẫn SI. Trong nghiên cứu này, các phương pháp chuẩn bị và quan sát mẫu đã được tối ưu hóa với mục đích quan sát sự phân bố tỷ lệ bóng đá kèo nhà cái mang của tỷ lệ bóng đá kèo nhà cái bán dẫn hợp tỷ lệ bóng đá kèo nhà cái. Liên quan đến tỷ lệ bóng đá kèo nhà cái bán dẫn GaAs, chúng tôi có thể quan sát rõ ràng ngã ba PN và phân biệt rõ ràng giữa các lớp N+ và N. Phương pháp này có thể được áp dụng cho các sản phẩm bán dẫn như laser bán dẫn, và là một phương pháp có thể góp phần cải thiện các đặc điểm và độ tin cậy.
Văn bản đầy đủ (PDF 1,275KB)