Kozue Yabusaki và Hirokazu Sasaki
Tóm tắt
Trong những năm gần đây, kỹ kèo nhà cái tỷ lệ bóng đá FIB đã được sử dụng rộng rãi để chuẩn bị mẫu trong quan sát TEM và phân tích AES, làm tăng nhu cầu phân tích vi mô của các thiết bị bán dẫn. So với quá trình thông thường bao gồm đánh bóng cơ học và phay ion AR, kỹ kèo nhà cái tỷ lệ bóng đá FIB có một số ưu điểm: quá trình nhanh chóng, ngăn ngừa thiệt hại do đánh bóng cơ học và cắt bỏ các bộ phận cấu trúc vi mô. Tuy nhiên, có nhiều vấn đề khác nhau như phát hiện một lượng lớn GA từ nguồn ion và sự hình thành một lớp bị hư hỏng trên bề mặt. Chúng tôi đã phát triển các kỹ kèo nhà cái tỷ lệ bóng đá chuẩn bị mẫu FIB để có được dữ liệu có giá trị cho TEM và AE khi xem xét các tính năng của xử lý FIB này.
Văn bản đầy đủ (PDF 298KB)