Satoshi Arakawa, Mitsumasa Ito, Ryuusuke Nakasaki và Akihiko Kasukawa
Tóm tắt
1486_16944). Khắc tại chỗ phụ thuộc vào nội dung của chất bán dẫn hợp chất. INP dễ dàng khắc theo tỷ lệ của tỷ lệ kèo nhà cái net4, và cung cấp một bề mặt mịn; Các lớp chứa al không thể khắc. Kỹ thuật này rất hiệu quả để có được giao diện cải cách tốt và giảm nồng độ tạp chất. Khi tỷ lệ kèo nhà cái net4WA được giới thiệu trong quá trình tăng trưởng chọn lọc của các lớp Algainas, không có đa tinh thể trên mặt nạ điện. Vì tỷ lệ kèo nhà cái net4Không ảnh hưởng xấu đến tính chất quang học, phương pháp này có hiệu quả để chế tạo các thiết bị bán dẫn hợp chất.
toàn văn (pdf 128kb)