Arakawa Tomoshi, Ito Mitsumasa, Nakazaki Ryusuke, Kasukawa Akihiko
Tóm tắt
carbon tetrabromide (CBR4),tại chỗđạt được sự tỷ lệ kèo góc nhà cái và tăng trưởng chọn lọc của các vật liệu dựa trên AL. Trong khắc, các tính chất khác nhau rất nhiều tùy thuộc vào vật liệu phim và từ việc khắc với giới hạn tỷ lệ cung cấp tốt của INP để hoàn thành việc dừng khắc do bao gồm Al. Hơn nữa, tăng trưởng liên tục liên quan đến việc giảm tạp chất giao diện, v.v.tại chỗẢnh hưởng của việc khắc đã được xác nhận. Hơn nữa, sự tăng trưởng chọn lọc đã triệt tiêu hoàn toàn sự kết tủa của poly trên mặt nạ, và cũng đạt được các đặc tính tỷ lệ kèo góc nhà cái quang tốt, dẫn đến tiềm năng cho các ứng dụng thiết bị.
Văn bản đầy đủ (PDF 137KB)