Một tỷ lệ kèo nhà cái net dính tạm thời bảo vệ bề mặt của wafer trong quá trình mài ngược của các tấm bán dẫn.
Tính năng
- Đệm tuyệt vời cho phép mài màng mỏng
- Thiết kế lớp kết dính cho phép bong tróc ánh sáng mà không làm căng thẳng
- Áp dụng cho một loạt các thiết bị
| series | tuân thủ | tính năng | Số phần không thể |
|---|---|---|---|
| SP Series | silicon wafer |
|
|
| SP Series | sử dụng đặc biệt (sic, gaas, gan, sapphire, v.v.) |
|
|
| CP Series | silicon wafer |
|
|
Đặc điểm kỹ thuật
SP Series cho silicon wafers
| Tên tỷ lệ kèo nhà cái net | SP-594M-130 | SP5156B-130 | SP-541B-205 | SP-537T-230 | SP5207M-425 | ||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Độ dày cơ chất (Pha) | 100 | 110 | 165 | 100 | 420 | ||
| Độ dày kết dính (Pha) | 30 | 20 | 40 | 130 | 5 | ||
| độ bám dính (n/25 mm) |
♯280-SUS | trước UV | 7.9 | 1.3 | 2.6 | 6.4 | 0.4 |
| sau UV | 0.1 | 0.3 | 0.5 | 0.8 | 0.3 | ||
| Si Wafer | trước UV | 3.0 | 0.5 | 1.7 | 2.5 | 0.2 | |
| sau UV | 0.1 | 0.1 | 0.2 | 0.1 | 0.1 | ||
| tính năng |
|
|
|
|
|
||
(Lưu ý) Dữ liệu trên là một giá trị điển hình và không phải là giá trị được đảm bảo
Đối với các hợp chất (sic, GaAs, GaN, Sapphire, v.v.) SP Series
| Tên tỷ lệ kèo nhà cái net | SP-594M-130 | SP-537T-160 | ||
|---|---|---|---|---|
| Độ dày cơ chất (Pha) | 100 | 100 | ||
| Độ dày kết dính (Pha) | 30 | 60 | ||
| độ bám dính (n/25 mm) |
♯280-SUS | trước UV | 7.9 | 4.1 |
| sau UV | 0.1 | 1.0 | ||
| Si Wafer | Trước UV | 3.0 | 1.5 | |
| sau UV | 0.1 | 0.1 | ||
| tính năng |
|
|
||
(Lưu ý) Dữ liệu trên là giá trị điển hình và không phải là giá trị được đảm bảo
CP Series cho silicon wafers
| Tên tỷ lệ kèo nhà cái net | CP9007B-130 | CP9003B-205B | CP9079B-200 | CP9206M-430 | |
|---|---|---|---|---|---|
| Độ dày cơ chất (Pha) | 100 | 165 | 165 | 420 | |
| Độ dày kết dính (Pha) | 30 | 40 | 35 | 10 | |
| độ bám dính (n/25 mm) |
♯280-SUS | 0.9 | 1.8 | 0.5 | 0.3 |
| tính năng |
|
|
|
|
|
(Lưu ý) Dữ liệu trên là giá trị điển hình và không phải là giá trị được đảm bảo
Quy trình thích ứng
SP Sê -ri có thể áp dụng
(Lưu ý) Dữ liệu trên là một giá trị điển hình và không phải là giá trị được đảm bảo
Sê -ri CP Phạm vi áp dụng
(Lưu ý)Dữ liệu trên là một giá trị điển hình và không phải là giá trị được đảm bảo
Yêu cầu về sản phẩm này